Mikroelektronik

Eine kleine Zahl nicht entfernter Partikel oder Gasmoleküle kann bei bestimmten Verfahren erhebliche Konsequenzen haben. So würde kontaminierte Luft bei der Herstellung von Halbleitern, Festplattenspeicher und bei anderen hochempfindlichen Verfahren erhebliche Schäden anrichten.

Bei der Halbleiterproduktion erfordern hochentwickelte Front-End Produktionsmethoden eine Versorgung mit sehr reiner Luft, wobei die Anforderungen an die Reinheit ständig steigen. Die kritische Partikelgröße für Wafer-Bereiche liegt nun unter 25 nm (2009) und es wird vorhergesagt, dass diese Größe noch weiter auf 10 nm im Jahre 2017 sinken wird. Molekulare Verschmutzung durch Schwebepartikel (airborne molecular contamination, AMC) ist nun zum wichtigen Thema für alle hochentwickelten mikroelektronischen Chipfabriken geworden. Es wurden viele verschiedene Auswirkungen der AMC beobachtet, die das Produktionsergebnis beinträchtigen. So wurde nachgewiesen, dass zum Beispiel Säurekorrosion von Festplatten oder Wafern, kondensierbare organische Ablagerungen auf sensitiven Oberflächen oder der Kontakt mit kleinen Mengen Ammoniak verschiedene Prozessschritte beeinflussen.

Das Herzstück des Reinraums sind die Filter. Hinsichtlich der Raumklassifizierung, der Filterauswahl und des Einflusses der Filter auf die Umgebung muss eine Reihe von Aspekten berücksichtigt werden.

Camfil ist angesichts einer mehr als 15-jährigen Erfahrung im Bereich der Kontaminationskontrolle für Mikroelektronik und Halbleiter und über unser Engagement bei der International Technology Roadmap for Semiconductors in der Lage, die beste Lösung für eine moderne Partikel- und AMC-Kontrolle zu empfehlen.

HEPA, ULPA und Molekurlarfilter werden in Reinraumbereichen in den ISO 9000-zertifizierten Fabriken von Camfil produziert. Wir können denselben Filter an verschiedenen Standorten fertigen. Dank unserer großen Produktionskapazität sind unsere Produkte jederzeit weltweit erhältlich.

Schutz:

  • Mikroplättchen und Halbleiter
  • Mikroelectronik Prozess Equipments
  • Festplattenlaufwerke
  • die Leiterplatinen
  • Flachbildschirme
  • Solarkollektoren
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